Область применения – импульсно-периодические лазеры, работающие на переходах эксимерных молекул XeCl*, KrCl*, XeF* и ArF*.

Технический эффект от использования системы регенерации рабочей смеси связан с улучшением генерационных характеристик лазера, увеличением ресурса его работы, сокращением веса и габаритов лазерной установки, упрощением ее обслуживания.

Отличительной особенностью системы регенерации является то, что она имеет модульную конструкцию, позволяющую использовать, в зависимости от применяемого эксимера и необходимости перехода с одного эксимера на другой, все или только отдельные блоки для подключения как к действующим, так и вновь создаваемым лазерам.

Принцип действия системы регенерации состоит в многократном пропускании части циркулирующего в газодинамическом контуре потока рабочей смеси через высоко- или низкотемпературный блок с целью:

• очистки смеси инертных газов от активных компонентов;

• выделения гелия или неона из рабочей смеси.

Система предусматривает возможность глубокой предварительной очистки инертных газов от микропримесей в процессе их первоначальной заправки в лазер.

Технические данные

Сравнение с аналогами показывает, что предлагаемая система отличается от известных систем высокой компактностью, универсальностью, оригинальностью и простотой конструкции.

наверх